Mikroflüssigkeit für schnellere Computerchips

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Wissenschaftler des Max-Planck-Instituts für biophysikalische Chemie arbeiten derzeit an Strahlenquellen mit extrem kurzen Wellenlängen. Dadurch soll es möglich werden, 10-fach kleinere Strukturen auf integrierte Schaltkreise abzubilden und eine neue Generation von Computerchips zu erzeugen.

Das Max-Planck-Institut und die Universität Göttingen bedienen sich dafür der Erzeugung und Anwendung von Mikroflüssigkeit. 10-100 Mikrometer dünne Strahlen werden unter hohem Druck durch eine Düse gepresst. Der so entstehende, über mehrere Zentimeter stabile Mikroflüssigkeitsstrahl bleibt auch im Vakuum stabil. Derzeit relevantestes Medium ist mit Hilfe einer Kühltechnik verflüssigtes Xenon. Bei der Fokussierung eines Leistungsstarken Lasers auf diesen Flüssig-Xenonstrahl wird ein Plasma geniert, welches Strahlung im Bereich von 13,5 Newtonmeter (nm) emittiert.

Excimer-Laser bilden derzeit mit Wellenlängen von 248 oder 193 nm integrierte Schaltkreise auf den Silizium-Wafern ab. Das Forscherteam in Göttingen rechnet damit, mit der neuen Methode Wellenlängen zwischen zwei und 20 nm zu erzeugen. Das würde Computerchips mit wesentlich kleineren Strukturen als bisher bedeuten und Rechner noch leistungsfähiger und energiesparender machen. (pte)